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 特種氣體是光電子、微電子等領域，特種氣體公司，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數目已與國外發(fā)達國家水平相近。

 特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，高純度特種氣體，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。氣體產品大致可以分為兩大類別， 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導體制造過程中涉及的材料眾多，在半導體集成電路的生產過程中，從芯片生長到后器件的封裝，高純度特種氣體公司，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進行分析，通過本質安全設計，重慶特種氣體，消除安全隱患。根據行業(yè)規(guī)范，對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏，確保系統(tǒng)密閉性。

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